平面参数测量仪

用途 

可以测量直径 330mm 以内的各类晶体材料（硅、玻璃、蓝宝石等）的翘曲度、弯曲度、厚度（透明）等， 对 3DIC 集成至关重要。可根据客户要求的用途，灵活选配不同高精度的非接触位移传感器

功能介绍 

1. 具有多种测量模式，如矩形、圆形、自定义坐标、示教方式等，以及可选择连续扫描测量和步进测量。

 2. 能够测量参数 Warp、Bow、TTV、TIR、厚度等

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